生长台尺寸：φ70mm 可同时生长7mm*7mm单晶45粒
10mm*10mm单晶21粒
控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）
微波电源： MUEGGE 6KW 2.45GHz
真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量计：日本KOFLOC
H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）
腔体冷却方式：强制风冷+水冷
测温：红外测温仪300-1400℃
机台尺寸：1215mm（长）*1114mm（宽）*2000mm（高）
供电：380V 三相五线
能耗：12kw